Die Zukunft in der Chipherstellung ist extrem ultraviolett. Das war dem amerikanischen Konzern Intel schon im Frühjahr 2001 klar. Damals hatte Intel in die Sandia National Laboratories im kalifornischen Livermore eingeladen, rund eine Autostunde von San Francisco entfernt. Dort stand ein Prototyp, mit dem kurz zuvor zum ersten Mal Mikrochips mit einer völlig neuen Technik produziert worden waren. Im Rückblick wird der Termin zu einem Lehrstück für die Art und Weise, wie im Silicon Valley Forschung funktioniert, und dafür, wie lange es dauern kann, bis solche Fortschritte in der Nanotechnologie tatsächlich Produktionsreife erlangen.

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